请问「衍射光学元件」是什么意思？
2026-07-13 01:12:55
「衍射光学元件」读音
拼音 yǎn shè guāng xué yuán jiàn，注音 ㄧㄢˇ ㄕㄜˋ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝˊ ㄩㄢˊ ㄐㄧㄢˋ
| 拼音字母 | yan she guang xue yuan jian |
|---|---|
| 拼音首字母 | ysgxyj |
| 注音符号 | ㄧㄢ ㄕㄜ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝ ㄩㄢ ㄐㄧㄢ |
| 注音首符号 | ㄧㄕㄍㄒㄩㄐ |
「衍射光学元件」释义
扩展释义 衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。
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