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请问「对准精度」是什么意思?

2026-07-10 05:39:31

「对准精度」读音

拼音 duì zhǔn jīng dù,注音 ㄉㄨㄟˋ ㄓㄨㄣˇ ㄐㄧㄥ ㄉㄨˋ

拼音字母dui zhun jing du
拼音首字母dzjd
注音符号ㄉㄨㄟ ㄓㄨㄣ ㄐㄧㄥ ㄉㄨ
注音首符号ㄉㄓㄐㄉ

「对准精度」释义

扩展释义 光刻机的对准系统(alignment)负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准,对准精度(Alignment Precision,AP)则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。

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