请问「外延生长」是什么意思?
2026-07-14 09:48:04
「外延生长」读音
拼音 wài yán shēng zhǎng,注音 ㄨㄞˋ ㄧㄢˊ ㄕㄥ ㄓㄤˇ
| 拼音字母 | wai yan sheng zhang |
|---|---|
| 拼音首字母 | wysz |
| 注音符号 | ㄨㄞ ㄧㄢ ㄕㄥ ㄓㄤ |
| 注音首符号 | ㄨㄧㄕㄓ |
「外延生长」释义
扩展释义 外延生长是指在单晶衬底(基片)上生长一层有一定要求的、与衬底晶向相同的单晶层,犹如原来的晶体向外延伸了一段。外延生长技术发展于50年代末60年代初。当时,为了制造高频大功率器件,需要减小集电极串联电阻,又要求材料能耐高压和大电流,因此需要在低阻值衬底上生长一层薄的高阻外延层。外延生长的新单晶层可在导电类型、电阻率等方面与衬底不同,还可以生长不同厚度和不同要求的多层单晶,从而大大提高器件设计的灵活性和器件的性能。外延工艺还广泛用于集成电路中的PN结隔离技术(见隔离技术)和大规模集成电路中改善材料质量方面。
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